

一、系统构成要素
选用工业级转轮除湿机(湿度控制精度±3%RH),机组需配备湿度传感器联动模块
工作湿度设定范围:45%-55% RH(特殊工艺区可调至40%-60%)
设置回风比例≥30%以保证空气循环效率,新风口须配置G4初效+F7中效过滤器
配置直流脉冲式离子风机,平衡电压≤±35V(IEC 61340-5-1标准)
安装密度按工位间距设置:关键区域每2m²布置1台,普通区域每5m²布置1台
风机气流速度控制在1.5-3m/s,覆盖角度≥60°
采用PLC控制系统集成温湿度传感器(精度±0.5℃/±2%RH)与静电压监测仪(量程0-±20kV)
设置两级触发机制:
▷ 当检测到静电压>100V时优先启动区域离子风机
二、设备布局规范
沿车间长边对称布置,确保送风覆盖面≥95%区域
风管系统采用环状管网结构,支管风速≤8m/s,主风道风速≤12m/s
出风口与回风口高差≥1.5m,避免气流短路6
离子风机定位
距工作台面垂直高度0.8-1.2m,倾斜角度15°-30°朝向敏感工位
重点覆盖区域:
与金属构件保持≥0.5m安全距离,防止电磁干扰
四、关键实施要点
接地系统配套
构建独立防静电接地网(接地电阻<10Ω),与设备接地分开布线
离子风机接地线采用6mm²多股铜芯线,每50m设置重复接地点
运行参数监测
部署ESD监控看板实时显示:
▷ 环境湿度曲线 ▷ 静电电压分布热力图 ▷ 设备运行状态
异常报警阈值设定:
✓ 湿度偏离设定值±5% ✓ 静电压>500V ✓ 接地电阻>15Ω
维护保养规范
除湿机滤网每300小时清洗,离子风机电极针每500小时酒精擦拭
每月进行系统校准:
▷ 湿度传感器用饱和盐溶液校验 ▷ 离子平衡度测试仪检测中和时间
五、安全注意事项
禁止在离子风机1m范围内存放易燃易爆物品
设备维护时必须切断电源并释放残余电荷(等待≥30秒)
联动系统需通过EMC测试(符合GB/T 17626系列标准)
该方案通过环境湿度精准调控与动态静电消除的协同作用,可使车间静电压稳定控制在<50V的安全范围,静电敏感器件(SSD)损伤率可降低至<0.5ppm。
