电子车间防静电系统需建立湿度控制与静电中和的协同体系，除湿机与离子风机的智能联动方案可通过以下技术要点实现：

一、系统构成要素

‌湿度控制单元‌

选用工业级转轮除湿机（湿度控制精度±3%RH），机组需配备湿度传感器联动模块
工作湿度设定范围：45%-55% RH（特殊工艺区可调至40%-60%）

设置回风比例≥30%以保证空气循环效率，新风口须配置G4初效+F7中效过滤器

‌静电消除单元‌

配置直流脉冲式离子风机，平衡电压≤±35V（IEC 61340-5-1标准）
安装密度按工位间距设置：关键区域每2m²布置1台，普通区域每5m²布置1台

风机气流速度控制在1.5-3m/s，覆盖角度≥60°

‌联动控制模块‌

采用PLC控制系统集成温湿度传感器（精度±0.5℃/±2%RH）与静电压监测仪（量程0-±20kV）

设置两级触发机制：

▷ 当湿度＜45%时自动启动加湿模块并激活离子风机群组

▷ 当检测到静电压＞100V时优先启动区域离子风机

二、设备布局规范

‌除湿机组安装‌

沿车间长边对称布置，确保送风覆盖面≥95%区域
风管系统采用环状管网结构，支管风速≤8m/s，主风道风速≤12m/s
出风口与回风口高差≥1.5m，避免气流短路6
‌离子风机定位‌

距工作台面垂直高度0.8-1.2m，倾斜角度15°-30°朝向敏感工位

重点覆盖区域：

✓ SMT贴装工位 ✓ 芯片封装区 ✓ 精密检测台

与金属构件保持≥0.5m安全距离，防止电磁干扰

四、关键实施要点

‌接地系统配套‌

构建独立防静电接地网（接地电阻＜10Ω），与设备接地分开布线
离子风机接地线采用6mm²多股铜芯线，每50m设置重复接地点
‌运行参数监测‌

部署ESD监控看板实时显示：

▷ 环境湿度曲线 ▷ 静电电压分布热力图 ▷ 设备运行状态
异常报警阈值设定：
✓ 湿度偏离设定值±5% ✓ 静电压＞500V ✓ 接地电阻＞15Ω
‌维护保养规范‌

除湿机滤网每300小时清洗，离子风机电极针每500小时酒精擦拭
每月进行系统校准：
▷ 湿度传感器用饱和盐溶液校验 ▷ 离子平衡度测试仪检测中和时间

五、安全注意事项

禁止在离子风机1m范围内存放易燃易爆物品
设备维护时必须切断电源并释放残余电荷（等待≥30秒）
联动系统需通过EMC测试（符合GB/T 17626系列标准）

该方案通过环境湿度精准调控与动态静电消除的协同作用，可使车间静电压稳定控制在＜50V的安全范围，静电敏感器件（SSD）损伤率可降低至＜0.5ppm。